[发明专利]带电粒子源的排放噪声校正在审
| 申请号： | 201810146111.1 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN108447758A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | A·穆罕默迪-盖达里;L·米尔;P·C·蒂默杰;G·N·A·范维恩;H·N·斯林格兰 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 郑勇 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种操作带电粒子显微镜的方法，包括：‑在样本架上设置样本；‑使用源来产生受束流电流波动影响的带电粒子束；‑使用位于所述源和样本架之间的电子束电流传感器来拦截一部分电子束，并且产生与电子束的拦截部分的电流成比例的拦截信号，所述电子束电流传感器包括布置成使具有相关探针电流的电子束探针穿过的孔；‑在样本上扫描所述探针，从而以样本电流照射样本，其中停留时间与样本上的每个扫描位置相关联；‑使用检测器检测响应于所述探针的照射而从样本放射的辐射，并且产生相关联的检测器信号；‑使用所述拦截信号作为补偿器的输入，以抑制所述检测器信号中所述电流波动的影响；其中：‑电子束电流传感器配置为具有朝向源定向的传感层的半导体器件，其中：■电子束的所述拦截部分的每个带电粒子在所述传感层中产生电子/空穴对；■产生的电子被吸引到半导体器件的阳极；■产生的空穴被吸引到半导体器件的阴极；从而产生所述拦截信号。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 电子束 半导体器件 电子束电流 拦截信号 检测器 空穴 带电粒子 电流波动 拦截 传感层 样本架 传感器 探针 照射 阴极 关联 传感器配置 带电粒子束 带电粒子源 电子束探针 检测器检测 阳极 扫描位置 探针电流 样本电流 噪声校正 补偿器 束流 显微镜 放射 吸引 扫描 穿过 停留 辐射 排放 响应 | ||
【主权项】：
1.一种操作带电粒子显微镜的方法，包括：在样本架上设置样本；使用源来产生受电子束电流波动影响的带电粒子束；使用位于所述源和样本架之间的电子束电流传感器来拦截一部分电子束，并且产生与电子束的拦截部分的电流成比例的拦截信号，所述电子束电流传感器包括一布置成使具有相关探针电流的电子束探针通过的孔；在样本上扫描所述探针，从而以样本电流照射样本，其中停留时间与样本上的每个扫描位置相关联；使用检测器检测响应于所述探针的照射而从样本放射的辐射，并且产生相关联的检测器信号；和使用所述拦截信号作为补偿器的输入，以抑制所述检测器信号中所述电流波动的影响；其中：电子束电流传感器配置为具有朝向源定向的传感层的半导体器件，其中：电子束的所述拦截部分的每个带电粒子在所述传感层中产生电子/空穴对；产生的电子被吸引到半导体器件的阳极；和产生的空穴被吸引到半导体器件的阴极；从而产生所述拦截信号。
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- 本实用新型公开了一种透射电镜环境磁场测量功能样品杆。包括样品杆头、前端细杆、后端粗杆、手握柄、手握柄盖，手握柄上设有第一导向销，前端细杆上设有第二导向销；所述的样品杆头包括前端垫片、后部电路板、前部电路板、队列电极、传感器；样品杆头与前端细杆连接，前端细杆与后端粗杆连接，后端粗杆与手握柄连接，手握柄上设有手握柄盖，手握柄盖上开设有引出口；传感器焊接在队列电极上，队列电极设置在样品杆头上，后部电路板、前部电路板通过金属柱连接并使用前端垫片固定在前端细杆上；导线一头焊接在后部电路板上，另一头通过样品杆中空部分连接至引出口；本实用新型的透射电镜环境磁场测量功能样品杆具有很高的通用性。
- 带电粒子束装置、试样观察方法、试样台、观察系统及发光部件-201480013221.0
- 大南佑介;佐藤贡;内田宪孝;麻生定光;坂诘卓;森下英郎;伊东佑博;大岛卓 - 株式会社日立高新技术
- 2014-01-22 - 2018-01-02 - H01J37/244
- 本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。
- 离子束测定装置及离子束测定方法-201410168751.4
- 井门德安;稻田耕二;渡边一浩 - 斯伊恩股份有限公司
- 2014-04-24 - 2017-12-26 - H01J37/244
- 本发明提供一种以简单的结构测定两个方向的射束角度的离子束测定装置及离子束测定方法。离子束测定装置(100)具备掩模(102)，用于将原始的离子束(B)整形为具备在与离子束行进方向垂直的y方向较长的y射束部分及在与所述行进方向及y方向垂直的x方向较长的x射束部分的测定用离子束(Bm)；检测部(104)，构成为检测y射束部分的x方向位置，并检测x射束部分的y方向位置；及射束角度运算部(108)，构成为利用x方向位置运算x方向射束角度，并利用y方向位置运算y方向射束角度。
- 曝光装置及曝光方法-201610096405.9
- 山田章夫;濑山雅裕;那须野秀树 - 爱德万测试株式会社
- 2016-02-22 - 2017-12-01 - H01J37/244
- 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。
- 专利分类
