[发明专利]一种二硫化钼纳米薄片的制备方法在审

专利信息
申请号: 201810417992.6 申请日: 2018-05-04
公开(公告)号: CN110240199A 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 江峰;闫鹏飞 申请(专利权)人: 张家港钛光新材料科技有限公司
主分类号: C01G39/06 分类号: C01G39/06;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 代理人: 张莹
地址: 215628 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请公开了一种二硫化钼纳米薄片的制备方法,其特征在于,采用化学气相沉积法;其中,化学气相沉积法中采用高低双温区加热方法;所述化学气相沉积法的原料包括钼源和硫源;所述钼源的位置位于所述硫源的下风向,衬底的位置位于所述钼源的下风向;所述衬底为带有纳米柱的衬底。该方法既可以在平面衬底上生长水平二硫化钼薄片,又可以在带有纳米柱的衬底上生长垂直二硫化钼薄片,材料直接在衬底上生长,不需加压,耗时短,成本低,工艺简便,可以大规模密集生长,可重复性强。
搜索关键词: 衬底 二硫化钼 化学气相沉积 钼源 生长 纳米薄片 纳米柱 下风向 硫源 制备 可重复性 双温区 加热 加压 耗时 垂直 申请
【主权项】:
1.一种二硫化钼纳米薄片的制备方法,其特征在于,采用化学气相沉积法;其中,化学气相沉积法中采用高低双温区加热方法;所述化学气相沉积法的原料包括钼源和硫源;所述钼源的位置位于所述硫源的下风向,衬底的位置位于所述钼源的下风向;所述衬底为带有纳米柱的衬底。
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