[实用新型]一种长寿命溅射靶材有效
申请号: | 201020552221.7 | 申请日: | 2010-09-28 |
公开(公告)号: | CN201793723U | 公开(公告)日: | 2011-04-13 |
发明(设计)人: | 郑文翔 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省余姚市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种长寿命溅射靶材,包括溅射面,所述溅射面的表面包括两个溅射区域,沿径向方向由外到里依次为第一溅射区域和第二溅射区域,所述第二溅射区域高于第一溅射区域,所述两个溅射区域的中心与所述溅射靶材的中心同心。解决了当溅射靶材在溅射过程中,使用寿命比较短,靶材的使用效率比较低,造成原材料浪费和增加生产成本的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 寿命 溅射 | ||
【主权项】:
一种长寿命溅射靶材,包括溅射面,其特征在于,所述溅射面的表面包括两个溅射区域,沿径向方向由外到里依次为第一溅射区域和第二溅射区域,所述第二溅射区域高于第一溅射区域,所述两个溅射区域的中心与所述溅射靶材的中心同心。
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