[发明专利]磨粒埋入装置、抛光装置和抛光方法有效
| 申请号： | 201210320182.1 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102962763A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 堀田秀儿;田篠文照;邱晓明;岩田尚也 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/27;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供磨粒埋入装置、抛光装置和抛光方法，既抑制磨粒的埋入不均又高效地将磨粒埋入研磨模座。在磨粒埋入装置中，一边将含有磨粒的料浆供给到研磨模座的表面一边用按压构件隔着料浆按压研磨模座，并且使按压构件与研磨模座滑动而将料浆含有的磨粒埋入研磨模座的表面，按压构件具有：一个以上的按压部件；重锤部件，其配设在按压部件的上方，用于将按压部件按压于研磨模座；和超声波振子，其对按压部件施加超声波，按压部件具有配设有多个圆盘状的按压片的按压面，由此使各按压面在按压构件和研磨模座的相对滑动方向成为彼此相同的长度，通过抑制流体应力的不均，抑制了磨粒向研磨模座埋入的埋入不均。 | ||
| 搜索关键词： | 埋入 装置 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种磨粒埋入装置，所述磨粒埋入装置用于将料浆所含有的磨粒埋入研磨模座的表面，所述磨粒埋入装置的特征在于，所述磨粒埋入装置具备：按压构件，所述按压构件用于按压所述研磨模座；料浆供给构件，所述料浆供给构件用于向所述研磨模座的表面供给含有磨粒的料浆；以及滑动构件，所述滑动构件用于使所述按压构件与所述研磨模座滑动，所述按压构件包括：按压部件；重锤部件，所述重锤部件配设在所述按压部件的上方，用于将所述按压部件按压于所述研磨模座；以及超声波振子，所述超声波振子用于对所述按压部件施加超声波，所述按压部件具有按压面，所述按压面配设有多个圆盘状的按压片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210320182.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
