[实用新型]一种石英排废管有效
申请号: | 201420427146.X | 申请日: | 2014-07-30 |
公开(公告)号: | CN204167268U | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 唐亮;王利国;戴德鹏;刘屹;冷皓;周军建 | 申请(专利权)人: | 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F27D17/00 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波 |
地址: | 江苏省扬州市扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种石英排废管,包括石英管、排废球碗和固定球碗,石英管一端为连接外部排废装置的排废端,另一端为通过炉体石英管排废插口插入炉体石英管内部的插入端;排废球碗设在排废端,排废球碗的碗口朝向排废端;固定球碗设置在石英管的排废端和插入端之间,其碗口朝向炉体石英管排废插口;石英管包括排废段、固定段和插入段,排废段一端与排废球碗连接,固定段套装在插入段上,固定段的一端与固定球碗连接,固定段的另一端与插入段的一端同轴密封连接,与排废段的另一端也同轴密封连接;插入段的内径小于排废段的内径。本实用新型既能防止偏磷酸堵塞管道和回流,又能让石英排废管在插入炉体石英管后容易被拔出,使用方便且实用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 排废管 | ||
【主权项】:
一种石英排废管,包括石英管(1)、排废球碗(2)和固定球碗(3),所述的石英管(1)的一端为连接外部废弃处理装置的排废端(4),另一端为通过炉体石英管排废插口插入炉体石英管内部的插入端(5);所述排废球碗(2)设置在石英管的排废端(4),排废球碗(2)与石英管(1)同轴设置,排废球碗(2)的碗口朝向排废端(4);所述固定球碗(3)设置在石英管(1)的排废端(4)和插入端(5)之间的管体外壁上,并且与石英管(1)保持同轴,用于连接炉体石英管排废插口的球头,其碗口朝向炉体石英管排废插口,与排废球碗(2)的碗口朝向相反;其特征是,所述的石英管(1)由排废段(7)、固定段(8)和插入段(9)三段管道组成,排废段(7)的一端与排废球碗(2)连接,固定段(8)套装在插入段(9)上,固定段(8)的一端与固定球碗(3)连接,固定段(8)的另一端与插入段(9)的一端同轴密封连接,并且与排废段(7)的另一端也同轴密封连接;所述插入段(9)的内径小于排废段(7)的内径,使排废段(7)和插入段(9)之间形成一个台阶(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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