[发明专利]基板收纳容器有效
申请号: | 201780089276.3 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN110574152B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 佐藤恭兵 | 申请(专利权)人: | 未来儿股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B65D85/86 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明具有:下侧基板引导倾斜面(733),与下侧倾斜面(731)的下端部连接,相比于下侧倾斜面(731)的倾斜,以与上下方向(D2)所成的角度更小的方式倾斜,上下方向(D2)与多个基板排列的排列的方向一致;以及上侧基板引导倾斜面(734),与上侧倾斜面(732)的上端部连接,相比于上侧倾斜面(732)的倾斜,以与上下方向(D2)所成的角度更小的方式倾斜。在容器主体开口部被盖体封闭时的槽(703)延伸的方向上,随着接近容器主体开口部的中央,下侧基板引导倾斜面(733)的上下方向(D2)上的长度变长。 | ||
搜索关键词: | 收纳 容器 | ||
【主权项】:
1.一种基板收纳容器,其特征在于,/n所述基板收纳容器包括:/n容器主体,具备筒状的壁部,所述壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部,另一端部封闭,由所述壁部的内表面形成基板收纳空间,所述基板收纳空间能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通;/n盖体,相对于所述容器主体开口部可装拆,能够封闭所述容器主体开口部;/n侧方基板支承部,在所述基板收纳空间内以成对的方式配置,当所述容器主体开口部未被所述盖体封闭时,能够在将所述多个基板中的相邻的基板彼此以规定的间隔分开排列的状态下,支承所述多个基板的边缘部;/n盖体侧基板支承部,当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时,配置在与所述基板收纳空间相对的所述盖体部分上,能够支承所述多个基板的边缘部;以及/n后侧基板支承部,在所述基板收纳空间内以与所述盖体侧基板支承部成对的方式配置,能够支承所述多个基板的边缘部,当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时,与所述盖体侧基板支承部协同动作,能够支承所述多个基板,/n所述盖体侧基板支承部具备:盖体侧基板承接部,与所述基板直接抵接,支承所述基板;以及盖体侧脚部,支承所述盖体侧基板承接部,/n所述盖体侧基板承接部具有:/n下侧倾斜面,以从所述基板收纳空间的中心离开的方式倾斜延伸;/n上侧倾斜面,以接近所述基板收纳空间的中心的方式从所述下侧倾斜面的上端部倾斜延伸;/n下侧基板引导倾斜面,与所述下侧倾斜面的下端部连接,相比于所述下侧倾斜面的倾斜,以与上下方向所成的角度更小的方式倾斜,所述上下方向与所述多个基板排列的排列方向一致;以及/n上侧基板引导倾斜面,与所述上侧倾斜面的上端部连接,相比于所述上侧倾斜面的倾斜,以与所述上下方向所成的角度更小的方式倾斜,/n当所述容器主体开口部被所述盖体封闭时,所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面与所述基板抵接,在由所述下侧倾斜面和所述上侧倾斜面形成的槽中支承所述基板,/n在所述容器主体开口部被所述盖体封闭时的所述槽延伸的方向上,随着接近所述容器主体开口部的中央,所述下侧基板引导倾斜面的所述上下方向上的长度变长。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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