[发明专利]对振动微机电陀螺仪中的驱动幅度的连续监测

摘要

本发明公开了对振动微机电陀螺仪中的驱动幅度的连续监测。本公开内容涉及一种微机电陀螺仪，其包括至少一个质量元件、驱动致动器和感测电极。所述至少一个质量元件被配置为由驱动致动器驱动以进行具有驱动振荡频率ωD的振荡运动，并且所述感测电极被配置为从所述至少一个质量元件的振荡运动产生感测信号。陀螺仪控制电路包括以频率2ωD检测感测信号幅度的幅度检测单元。该幅度产生对驱动振荡幅度的量度。以频率ωD进行的幅度检测产生对角旋转速率的量度。

主权项

一种微机电陀螺仪，包括至少一个质量元件、驱动致动器、感测电极和陀螺仪控制电路，其中，所述驱动致动器被配置为由包括驱动信号幅度和驱动信号频率的驱动信号控制，所述至少一个质量元件被配置为由所述驱动致动器驱动以进行具有驱动振荡频率ωD的振荡运动，并且所述感测电极被配置为从所述至少一个质量元件的振荡运动产生感测信号，其特征在于，所述陀螺仪控制电路包括以频率2ωD检测感测信号幅度的幅度检测单元。