[发明专利]具有背部冷却槽的溅射靶材

摘要

本揭示案的实施方式涉及用于溅射腔室的溅射靶材，该溅射腔室用于处理基板。在一个实施方式中，提供用于溅射腔室的溅射靶材。溅射靶材包含具有背部表面的溅射板及安装至溅射板的环形背板，该背部表面具有径向内部、中间及外部区域。该背部表面具有多个圆形槽，这些圆形槽彼此间隔开；及至少一个弓状通道，该弓状通道切割穿过这些圆形槽，且从该溅射板的径向内部区域延伸至该径向外部区域。环形背板界定暴露该溅射板的背部表面的开口环。

主权项

1.一种溅射方法，包括：将基板定位于外壳中，所述外壳具有设置于所述外壳中的至少溅射靶材和基板支撑件；将溅射气体引入所述溅射腔室；激发所述溅射气体以形成等离子体，以溅射所述溅射靶材；以及用所述等离子体溅射所述溅射靶材以提供溅射的靶材材料，以在所述基板上形成膜层，其中所述溅射靶材包括：圆形溅射板，所述圆形溅射板包括：溅射表面；背部表面，所述背部表面与所述溅射表面相对，其中所述背部表面具有径向内部区域、径向中间区域及径向外部区域，所述背部表面具有：多个圆形槽，所述多个圆形槽彼此间隔开；以及至少一个弓状通道，所述至少一个弓状通道切割穿过所述圆形槽，且从所述溅射板的所述径向内部区域延伸至所述径向外部区域；环形背表面，所述环形背表面与所述溅射表面相对；倾斜的外周边壁，所述外周边壁从所述溅射表面的外边缘延伸至所述环形背表面的外边缘；内周边壁，所述内周边壁从所述背部表面延伸至所述环形背表面的内边缘，其中由所述背部表面和所述内周边壁界定凹槽，所述凹槽暴露所述溅射板的所述背部表面；以及环形背板，所述环形背板安装至所述溅射板，其中所述环形背板包括：环形主体，所述环形主体界定开口环，所述开口环暴露所述溅射板的所述背部表面，所述环形主体由以下结构界定：环形前表面，所述环形前表面接触所述圆形溅射板的所述环形背表面；环形凸缘，所述环形凸缘延伸超过所述溅射板的半径，所述环形凸缘包括周边圆形表面，所述周边圆形表面具有用于安置在表面上的外部基脚；以及从所述环形前表面的内边缘延伸至所述环形凸缘且与所述圆形溅射板的所述内周边壁对齐的内周边壁。