[发明专利]实时侦测系统、实时侦测方法及化学机械抛光设备有效
申请号: | 202010116930.9 | 申请日: | 2020-02-25 |
公开(公告)号: | CN111230723B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 李儒兴;王雷;田宝;李协吉;胡海天 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | B24B37/005 | 分类号: | B24B37/005;B24B37/20;B24B37/34;B24B49/12 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种实时侦测系统,用于实时侦测研磨垫沟槽状况以管控研磨垫寿命,所述实时侦测系统包括图像采集模块、数据处理模块和界面管理模块。本发明还提供一种实时侦测方法,包括:实时采集所述研磨垫沟槽的图像;对所述图像进行实时分析,确认所述研磨垫是否到达寿命,实时输出分析结果。本发明还提供一种包括所述实时侦测系统的化学机械抛光设备。通过图像采集模块采集图像信息,并通过数据处理模块对图像进行分析处理,实时得出研磨垫是否达到寿命的结果,最后通过界面管理模块进行系统控制和状态显示,使得研磨垫寿命管控变得及时、可靠,同时减少了人力,解决了现有技术中研磨垫寿命管控缺乏即时性和可靠性且浪费人力的问题。 | ||
搜索关键词: | 实时 侦测 系统 方法 化学 机械抛光 设备 | ||
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- 本实用新型涉及抛光垫测量技术领域,具体涉及一种抛光垫厚度在线测量装置,包括底座、调节组件和测量表组件,底座上设有立柱,调节组件包括套设在立柱上的移动环和转动臂,转动臂位于移动环的上方,转动臂上滑动安装有伸长臂,测量表组件包括测量表和探针,测量表的外部套设有安装环,测量表通过安装环安装在伸长臂上,探针设置在测量表的底部。本实用新型操作简单,可安装在抛光机台上随时对抛光垫的厚度进行测量,测得抛光垫任意位置的厚度;通过移动环和立柱、转动臂和立柱以及伸长臂和转动臂的配合,起到灵活调节高度、角度和伸缩长度的作用;通过设置卡槽,使得安装环在支架上可以便捷地安装和取下,进而实现测量表组件可快速拆装的效果。
- 一种可实时温控的研磨抛光机及其控温方法-202310359809.2
- 夏晶;李晓盼;刘开勇;何新远;沈俊甫;樊玉杰;周元凯 - 江苏科技大学
- 2023-03-31 - 2023-06-09 - B24B37/005
- 本发明涉及研磨抛光机设备技术领域,具体涉及一种可实时温控的研磨抛光机及其控温方法,包括箱体,其内部架设有第一电动机,所述第一电动机的输出轴固定连接设有轴杆,所述轴杆远离所述第一电动机的一端设有抛光盘,所述抛光盘的底部设有加热盘,所述箱体的一侧设有雾化降温组件,所述箱体的顶部设有控温组件,通过第一电动机带动轴杆旋转,通过轴杆带动抛光盘旋转,从而使工件进行研磨工作,通过控温组件监测抛光盘表面的温度,并根据温度控制加热盘和雾化降温组件工作,从而使工件的加工温度可根据需求进行调整管控,进一步保证了工件的加工质量,解决了现有的调温抛光装置,只能进行简单的加热,无法根据工件实施工况的温度进行调节的问题。
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