[发明专利]一种在晶圆级键合加工中的红外透射对准机构

摘要

本发明公开了一种在晶圆级键合加工中的红外透射对准机构，物镜、红外IR光源、第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆的上方设置有两个物镜，所述第二晶圆的底部设置有两个红外IR光源，两个所述物镜之间以及两个红外IR光源之间均设置有可调式支架组件，所述可调式支架组件包括撑座以及固定在撑座两侧的侧杆，所述撑座的一端固定有基筒，且所述基筒的端部活动连接有活动柱，所述基筒和活动柱之间设置有调节结构；本发明通过对现有的红外透射对准机构进行改进，将物镜和红外IR光源均设置在可调式支架组件上，使得物镜和红外IR光源之间的距离可以通过可调式支架组件进行灵活的调整，以便于适配不同的加工需求，提高整个机构的使用灵活性和便利性。