[实用新型]MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 202122246838.7 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN216898932U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 凌方舟;丁希聪;刘尧;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5755 | 分类号： | G01C19/5755 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 300450 天津市自贸试验区（*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS陀螺仪，其包括：驱动质量块；驱动电极；检测质量块；位于所述检测质量块下方的检测电极；耦接于所述驱动质量块上的第一补偿梁；耦接于所述第一补偿梁和所述检测质量块之间的第二补偿梁；耦接于所述第一补偿梁上的至少一对补偿质量块，其中每对补偿质量块中的第一补偿质量块位于所述第一补偿梁的一侧，每对补偿质量块中的第二补偿质量块位于所述第一补偿梁的另一侧；位于所述至少一对补偿质量块下方的至少一对补偿电极，通过在所述至少一对补偿电极上施加电信号，以进行误差补偿。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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