[实用新型]三通道分时复用检测电路的MEMS陀螺仪有效
申请号: | 202223555455.9 | 申请日: | 2022-12-29 |
公开(公告)号: | CN219178583U | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 黄莉;储莉玲;蒋乐跃 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(天津)有限公司 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人: | 庞聪雅 |
地址: | 300450 天津市自贸试验区(*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供一种MEMS陀螺仪,其包括:MEMS惯性传感部分,其包括:多个轴的检测电容组;陀螺接口电路,其包括:检测电路和数字处理电路;所述检测电路包括多路复用器、检测电荷放大器、检测混频器和检测模数转换器。所述多路复用器的每组输入端与对应的一个轴的检测电容组相连,所述多路复用器的输出端与所述检测电荷放大器的输入端相连。所述多路复用器基于选通信号在连续的多个选通循环中的每个选通循环内依次选择多个轴中的每个轴的检测电容组与所述检测电荷放大器的输入端相连,每个轴的检测电容组被所述多路复用器选通预定时长。这样,多个轴复用同一个检测电路,以减小电路面积和功耗。 | ||
搜索关键词: | 通道 分时 检测 电路 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】:
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