[实用新型]MEMS陀螺仪有效
申请号: | 202223590735.3 | 申请日: | 2022-12-29 |
公开(公告)号: | CN219368773U | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 黄莉;孟雨馨;金羊华;蒋乐跃 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(天津)有限公司 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人: | 庞聪雅 |
地址: | 300450 天津市自贸试验区(*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供一种MEMS陀螺仪,其包括:MEMS惯性传感部分,其包括:驱动电容组、驱动检测电容组、一个或多个轴的检测电容组;陀螺接口电路,其包括:驱动电路、一个或多个轴的检测电路、一个或多个轴的矫正电容组和数字处理电路;所述驱动电路包括驱动电荷放大器,所述检测电路包括一个或多个轴的检测电荷放大器,每个轴的校正电容组中的第一校正电容的一端连接至所述驱动电荷放大器的第一输出端,另一端连接至对应轴的检测电荷放大器的第一输入端,每个轴的校正电容组的第二校正电容的一端连接至所述驱动电荷放大器的第二输出端,另一端连接至对应轴的检测电荷放大器的第二输入端。这样,可以消除正交误差,提高了陀螺仪零偏稳定性和噪声水平。 | ||
搜索关键词: | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】:
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