[发明专利]一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910147363.0 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN109609914A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 丁敏;高峰;王宝友;陈策;方刚 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 刘昕;南霆 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备，用以解决现有技术中存在的加热稳定性差、加热不均匀的问题。该坩埚包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成用于容纳物料的容纳腔。这样，可以借助第一导热部以及第二导热部进行均匀、稳定热传导，容纳腔内物料可以均匀、稳定受热，进而保证后续蒸镀均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 导热 坩埚 加热控制 蒸镀设备 坩埚本体 容纳腔 加热稳定性 受热 不均匀 均匀性 热传导 内层 蒸镀 加热 容纳 申请 保证 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成容纳腔。
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