[发明专利]一种基于流体点胶的微电子器件封装方法有效
申请号: | 202211391279.1 | 申请日: | 2022-11-08 |
公开(公告)号: | CN115513072B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 徐银森;林毛毛;谢杏梅 | 申请(专利权)人: | 四川遂宁市利普芯微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/58;H01L21/56 |
代理公司: | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人: | 孔鹏 |
地址: | 629000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种基于流体点胶的微电子器件封装方法,涉及电子元器件封装工艺技术领域,能解决在塑封载体上点胶容易出现点胶厚度、形状不易控制,绝缘胶容易出现空洞的问题。该方法包括:对塑封载体的待粘合面进行刻蚀,得到相衔接的第一平面和第二平面,第一平面高于第二平面;在第一平面上刻蚀出多个点凹槽,点凹槽的最低面高于塑封载体的最低面,并向每个点凹槽内压入绝缘颗粒,绝缘颗粒的部分置于点凹槽外;向第一平面多次点绝缘胶,使得绝缘胶布满于各个绝缘颗粒表面以及各个绝缘颗粒之间的第一平面;待第一平面上的绝缘胶呈半凝固状态时,将芯片在呈半凝固状态的胶面上进行放置作业,使芯片粘合在第一平面上。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 流体 微电子 器件 封装 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造