[发明专利]MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路有效
| 申请号： | 201610357769.8 | 申请日： | 2016-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107449414B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈华;来强涛;郭桂良;韩荆宇;郭江飞;阎跃鹏 | 申请（专利权）人： | 中科芯未来微电子科技成都有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 610200 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 闭环 驱动 电路 | ||
1.一种MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，其特征在于包括：MEMS陀螺敏感器件(101)、跨阻放大器(102)、反相放大器(103)、移相器(105)、锁相环(106)和电阻分压器，其中，
所述MEMS陀螺敏感器件(101)基于静电驱动和电容检测原理，所述MEMS陀螺敏感器件(101)包括检测端和静电驱动端，所述检测端输出连接所述跨阻放大器(102)，所述跨阻放大器(102)后端连接反相放大器(103)，反相放大器(103)后端接所述移相器(105)，所述移相器(105)后端连接所述锁相环(106)，所述锁相环(106)后端连接到电阻分压器，所述电阻分压器输出接所述静电驱动端；
其中，所述跨阻放大器(102)的反馈通路上跨接电阻，所述电阻用于将所述检测端输出的电流信号转变为电压信号，所述电压信号与所述MEMS陀螺敏感器件(101)的激励输入电压信号反相；
所述锁相环(106)在锁定时，输出电压信号超前输入电压信号90度；所述移相器(105)用于补偿所述锁相环(106)的超前相位，以使所述锁相环(106)的输出电压信号与所述MEMS陀螺敏感器件(101)的激励输入电压信号同相，实现驱动环路的正反馈；
所述电阻分压器用于将所述锁相环(106)的输出电压信号的幅值衰减至MEMS陀螺敏感器件(101)的功率承受范围内。
2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，其特征在于，还包括低通滤波器(104)，所述反相放大器(103)的后端经所述低通滤波器(104)连接至所述移相器(105)，所述低通滤波器(104)用于滤除所述反相放大器(103)的输出电压中的噪声。
3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，其特征在于，所述跨阻放大器(102)包括一跨接电容，所述跨接电容跨接于跨阻放大器(102)的反馈通路上，所述跨接电容用于避免所述跨阻放大器(102)振荡。
4.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，其特征在于，所述反相放大器(103)包括一跨接电容，所述跨接电容跨接于反向放大器(103)的反馈通路上，所述跨接电容用于避免所述反相放大器(103)振荡。
5.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪的闭环锁相驱动电路，其特征在于，所述锁相环(106)使用NJM567芯片。
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